一定流量的氨氣和氫氣同時進入純化裝置，先經氮氫自動配比裝置和靜態混合器均勻混合，再進入催化脫氧器，在催化劑作用下，氨氣中的余氧與氫反應生成水，化學反應式：2H2+O2=2H2O,氮氣在經過濾水后脫氫器除去過量氫，如果工藝允許氮氣中含有一定的氫氣，則不脫氫。氮氣最后經冷干機和吸干機除去水分得到干燥的高純度氮氣。
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